최초의 4인치 단결정 질화알루미늄 웨이퍼, 전력 공급 개시

이 공정은 AlN 벌크 단결정 웨이퍼 성장을 위해 확장 가능하여 매우 넓은 밴드갭과 매우 높은 열 전도성으로 인해 전력 장치 및 UVC LED용 반도체 재료에 대한 생산 수요를 충족합니다.

100mm 기판은 UVC LED에 대한 현재 요구 사항을 기준으로 80% 이상의 사용 가능한 영역을 갖습니다.

Crystal IS의 모회사인 Asahi Kasei의 첨단 과학 기술 연구소 수석 연구원인 Naohiro Kuze 박사는 “4인치 벌크 질화알루미늄 기판의 성과를 발표하게 되어 매우 기쁩니다.”라고 말했습니다. "이러한 성과는 질화알루미늄이 UVC LED를 넘어 새로운 산업에 상업적으로 활용 가능하다는 것을 의미합니다."

천연 질화알루미늄 기판을 개발하기 위해 1997년에 설립된 Crystal IS는 직경 2인치 기판용 상용 공정을 통해 UVC LED를 제조합니다. 이러한 Klaran 및 Optan LED는 260nm – 270nm의 파장을 소독하는 데 사용됩니다.

4인치 AlN 기판의 상용화로 인해 뉴욕에 있는 Green Island 시설의 기존 설치 공간에 비해 장치 생산량이 4배로 늘어날 것입니다. 또한 대체 재료를 사용하는 전력 및 RF 장치용 기존 제조 라인에 통합되므로 질화알루미늄 기판에 대한 새로운 애플리케이션 개발이 가능해집니다.

www.asahi-kasei.com